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TOPCon 태양전지의 UVID: 비접촉 IV 테스트로 패시베이션 열화 및 6.72% 효율 손실 추적

TOPCon 태양전지의 UVID: 비접촉 IV 테스트로 패시베이션 열화 및 6.72% 효율 손실 추적

소개

TOPCon 태양전지는 강력한 표면 패시베이션과 캐리어 선택적 접촉 덕분에 현재 PV 시장을 지배하고 있습니다. 그러나 옥외 운전은 실제 약점인 UV 유도 열화(UVID)를 드러냅니다. UV60 조사 후 효율은 최대 6.72%까지 떨어집니다.

대부분의 초기 연구는 UVID가 고에너지 광자가 Si-H 결합을 끊고 자유 수소를 방출하는 것 때문이라고 비난했습니다. 그것은 이야기의 일부일 뿐입니다. 태양 UV 스펙트럼은 3.1–4.43 eV의 넓은 에너지 범위에 걸쳐 있으므로 전면 표면층과의 상호 작용은 단일 Si-H 절단 경로를 훨씬 넘어섭니다. 그리고 전면 Al₂O₃ / SiNₓ 스택은 후면보다 UV에 훨씬 약합니다.

비접촉 IV 테스터는 여기서 많은 도움이 됩니다. 비파괴적이며, 소모품이 없고, 밀리초 속도로 작동하며, BC 및 버스바 없는 설계와 호환되고, 한 번에 IV, EQE 및 PL 파라미터를 얻을 수 있습니다.

이 연구는 ToF-SIMS 및 깊이 프로파일링 XPS를 사용하여 UV60 전후 Al₂O₃ / SiNₓ 층의 원소 분포와 화학 결합 변화를 추적합니다. 발견: N-H 결합 파괴는 Si-H와 함께 두 번째 수소 공급원입니다. 비정질 Al₂O₃의 Al-O 결합은 UV에 의해 끊어져 많은 산소 공공을 생성합니다. 수소와 산소 메커니즘이 쌓여 표면 재결합을 악화시켜 패시베이션 신뢰성 개선을 위한 명확한 방향을 제시합니다.

실험 방법

TOPCon 태양전지의 UVID: 비접촉 IV 테스트로 패시베이션 열화 및 6.72% 효율 손실 추적

(a) TOPCon 태양전지 구조 개략도 (b) 대칭 전면 구조 샘플 (c) 대칭 후면 구조 샘플

대칭 전면 구조 샘플(SiNₓ/Al₂O₃/n-Si/Al₂O₃/SiNₓ)과 대칭 후면 구조 샘플(SiOₓ/n⁺-poly-Si 층 포함)을 준비했습니다. UV 노화는 모듈 수준에서 수행되었습니다. 광원은 주로 UV-A였으며 약 11%의 UV-B를 포함했고, 60°C 및 30% 습도 조건에서 진행되었습니다.

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UV 광원의 스펙트럼 조사도

전면 vs 후면 구조: UV 저항성 비교

TOPCon 태양전지의 UVID: 비접촉 IV 테스트로 패시베이션 열화 및 6.72% 효율 손실 추적

UV 노출 동안 대칭 전면 및 후면 구조 샘플의 (a) 주입 캐리어 농도 1×10¹⁵ cm⁻³에서의 τeff, (b) iVoc, (c) 단면 J₀ 변화

대칭형 후면 구조는 60 kWh·m⁻²의 UV 노출 후에도 거의 열화되지 않았습니다. 120 nm 두께의 poly-Si 층이 UV 광을 거의 모두 흡수하여 효과적인 차폐를 제공합니다.

전면 구조는 다른 결과를 보여주었습니다. τeff는 2895.6 μs에서 1552.8 μs로 감소했습니다. iVoc는 735.5 mV에서 715.2 mV로 하락했습니다. 단면 J₀는 초기 값의 약 3배인 18.4 fA·cm⁻²로 급증했습니다. Al₂O₃ / SiNₓ 패시베이션이 심하게 열화되었습니다.

화학 조성 변화

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UV60 전후 연마된 대칭형 전면 구조 샘플의 (a) 수소 및 (b) 산소 강도 깊이 프로파일 (ToF-SIMS 측정)

ToF-SIMS는 UV 노출 후 수소 농도가 명확히 증가함을 보여주며, 특히 SiNₓ 층 내부에서 증가합니다. N 1s XPS 깊이 프로파일링은 SiNₓ / Al₂O₃ 계면에서 N–H 결합 비율이 9.64%에서 5.97%로 감소했음을 보여줍니다. 따라서 N–H 결합 절단은 Si–H 외에 두 번째 수소 공급원입니다. 방출된 수소는 SiNₓ 표면 영역으로 확산되어 그곳의 실리콘과 재결합하며, 이것이 표면 근처에서 N–H 비율이 실제로 증가하는 이유입니다.

산소도 equally 중요한 이야기를 들려줍니다. Al₂O₃ 층의 산소는 약간 감소한 반면, SiNₓ/Al₂O₃ 및 Al₂O₃/Si 계면의 산소는 증가했습니다. 이는 Al–O 결합이 끊어지고 자유 산소가 외부로 이동함을 나타냅니다. 이상적인 결정에서 Al–O 결합 에너지는 약 5.3 eV입니다. 그러나 비정질 Al₂O₃에서는 배위수가 낮은 알루미늄 이온과 산소 공공이 전자를 포획하여 음전하를 띠게 되고, 인접한 Al–O 결합 절단의 활성화 에너지가 약 2.4 eV로 낮아집니다. 이는 400 nm UV 광(3.1 eV)이 이를 끊기에 충분함을 의미합니다.

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UV60 전후 Al₂O₃/SiNₓ 층의 다양한 계면에서의 N 1s 깊이 프로파일링 XPS 스펙트럼 (N–Si (397.5 eV) 및 N–H (399.5 eV) 결합에 대한 피팅 곡선 포함)

O 1s XPS는 격자 산소(OI)가 산소 공공(OII)으로 전환됨을 보여줍니다. Al 2p 스펙트럼에서 Al₂O₃ 비율은 69.99%에서 60.36%로 감소한 반면 Al–OH는 30.01%에서 39.64%로 증가했습니다. Si 2p 스펙트럼에서는 Si²⁺가 증가하고 고원자가 실리콘은 감소했습니다. 산소 공공 형성 시 방출된 전자가 실리콘을 높은 산화 상태에서 환원시킵니다. 종합하면, 산소, 알루미늄 및 실리콘 결합의 이러한 변화는 Al₂O₃ 막 품질이 이미 저하되었음을 보여줍니다.

전기적 성능 저하

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UV60 전후 TOPCon 태양전지의 EQE 및 반사율 곡선

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UV60 노출 동안 TOPCon 태양전지의 전면 접촉 저항률 변화

UV60 후 반사율은 기본적으로 변하지 않았습니다. EQE는 500 nm 이하의 단파장 영역에서 중간 정도의 감소를 보였으며, 이는 더 강한 전면 표면 재결합과 일치합니다. 전면 접촉 저항률은 UV 선량에 따라 거의 선형적으로 증가하여 4.1 mΩ·cm²에 도달했으며, 약 8.6배 높아졌습니다. 원인: 패시베이션 층에서 생성된 자유 수소와 산소가 전극 계면으로 확산되어 산화환원 반응에 참여합니다. UV는 또한 은 표면의 물 분자를 하이드록실 라디칼로 전환시키며, 이들이 함께 금속 전극을 부식시킵니다.

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UV60 노출 중 전기적 성능 저하율: (a) Voc (b) Jsc (c) FF (d) Eff

Voc는 전면 표면 패시베이션 저하와 J₀ 증가로 인해 상대적으로 3.46% 하락했습니다. FF는 전면 접촉 저항률 증가로 인해 2.82% 하락했습니다. Jsc는 단파장 EQE 손실이 제한적이었기 때문에 0.64%만 하락했습니다. 최종 광전 변환 효율 손실은 6.72%에 달했습니다.

결론

TOPCon 셀의 전면 SiNₓ/Al₂O₃ 구조는 후면 구조보다 UV에 훨씬 약합니다. UV 하에서 Si–H 및 N–H 결합이 순차적으로 끊어지며 자유 수소를 방출합니다. 비정질 Al₂O₃의 Al–O 결합은 UV에서 끊어져 자유 산소를 방출하고 많은 산소 공공을 생성합니다. Al₂O₃는 Al–OH로 전환되고 실리콘 원자가가 이동합니다. 이 두 가지 열화 메커니즘(수소와 산소)이 중첩되어 표면 재결합을 악화시킵니다. 전면 접촉 저항률의 급격한 증가가 더해져 결과적으로 6.72%의 효율 손실이 발생합니다. 이 연구는 TOPCon UVID를 이해하고 패시베이션 층의 장기 신뢰성을 개선하는 데 유용한 참고 자료를 제공합니다.

Ooitech의 견해

UVID는 전면 스택이 신뢰성이 실제로 시험되는 곳임을 계속 증명하고 있으므로, 모듈 라인에서 SiNₓ/Al₂O₃ 증착 및 캡슐화를 어떻게 구축하고 제어하는지는 셀 레시피만큼 중요합니다. 당사의 턴키 TOPCon 및 PERC 모듈 라인에서도 레이업, 라미네이션 및 EL 측면에서 동일한 교훈이 나타납니다. 작은 공정 선택이 패널이 수년간 옥외에서 견디는지를 결정합니다. 공장 현장에서 더 실질적인 관점을 원하시면 Ooitech YouTube 채널을 방문하세요: www.youtube.com/ooitech 을 팔로우할 가치가 있습니다.


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